ダイヘンは、ロボット本体にコントローラを内蔵したウエハ搬送ロボット「ACRTANS（アクトランス）」シリーズを2013年1月に発売する。コントローラの内蔵により同社従来機比約50％の省スペースを実現し、かつ伝達機構の高効率化により同約50％の省エネを達成した。300mmウエハに対応しており、価格はシングルアームタイプの「UTX-RD5700」が158万円、デュアルアームタイプの「UTW-RD5700」（写真）が198万円。年間200台の販売を目指す。2013年春には200mmウエハ対応タイプの投入も計画する。

　モータドライバボードの小型化と、駆動部の伝達機構の最適設計によりコントローラの本体への内蔵を可能にした。同時に、大幅な省エネにもつなげた。繰り返し位置決め精度は±0.1mm。動作速度は最大で、アームの伸縮動作（X、A軸）は1,000/sec、旋回動作（θ軸）は200度/sec、昇降動作（Z軸）は250mm/secと、同社従来品と同等にした。ペイロードはハンドを含めて0.5kg。

　半導体業界は、2000年頃から300mmウエハの導入を始めており、初期設備の更新期を迎えつつある。新製品は新設に加え、既設の更新も狙う。生産は国内拠点で行う計画だが、状況に応じて中国や韓国拠点の活用も視野に入れる。

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