ダイヘンは、パワーデバイスやLEDの製造で主流の2～6インチウエハに対応したアライナー「OFH-4003」を発売する。位置決めに要する時間は4～6インチウエハで1.8秒、2インチウエハで2.5秒と、同社の4～12インチウエハ対応機の位置決め技術を応用することで高速化を図った。小口径ウエハを用いる生産工程の処理能力（スループット）を向上することができる。価格は160万円。2012年度に年100台の受注を見込む。

　アライナーは半導体生産工程で、検査装置にウエハを搬入する前に向きや位置を整える装置。
　2010年に村田機械から買収した「MECSブランド」のアライナーをベースに、ダイヘンの液晶搬送ロボット向け制御技術を融合した。小口径ウエハで高速かつ高精度に位置決めするためにウエハ吸着部を変更して滑りを抑えたほか、センサ構造も見直した。

　位置決め精度は±0.1mm、±0.2度。LED向けサファイアウエハや石英ウエハなどの多様なウエハに対応することができる。信号入力のみで処理サイズを変更することができ、混載処理も可能。LEDの大口径化に対しても買い替えずに対応できる。新機種は半導体機器事業で12月に創設した新ブランド「アクトランス」の第2弾製品。

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