平田機工は、真空環境に対応可能なウエハ搬送ロボット「AR-Wn180CL」シリーズ（写真はシリーズの一部）を10月より発売する。シングルアームとツインアーム、反転軸、リスト軸、ロングストローク昇降軸などを用意しており、生産ラインに応じて選択、導入することができる。また、同社独自の制振制御の搭載によりメカ機構の振動を抑制し、かつ連続動作速度の向上によりウエハのPUTおよびGETにかかる時間を同社従来製比で約35％短縮している。価格は150万～300万円。

　併せて、300mmシリコンウエハの収納容器（FOUP）用開閉装置「KWF-12E2」も発売する。流体解析による装置内部の気流制御の最適化により微細な塵などの付着を防いだ。回路線幅22nm半導体に対応する。工場内だけではなく工場間を移動する搬送容器の開閉も可能で、価格は100万～200万円を予定する。

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